有幾個(gè)最關(guān)鍵的部分，是大多數(shù)國(guó)家無法造出光刻機(jī)的原因。

比如光源。

光刻機(jī)要求發(fā)出的光源，必須足夠‘純凈’和‘穩(wěn)定’。

也就是說，光源必須發(fā)出能量且穩(wěn)定。

并且，光譜必須是很窄很窄的紫光，這樣才能保證加工精度和精度的穩(wěn)定性。

還有一個(gè)難點(diǎn)，就是測(cè)量臺(tái)和曝光臺(tái)的移動(dòng)控制。

因?yàn)閮蓚€(gè)部件是聯(lián)動(dòng)的，所以二者的移動(dòng)同步性和精確性要求十分高，要達(dá)到納米的精度。