光刻機(jī)的鏡頭要求純度非常高，它是利用透鏡的光學(xué)原理，將掩膜板上的電路圖按比例縮小在用光源映射的硅片上，光在多次投射中會產(chǎn)生光學(xué)誤差，在這個過程中要控制這個誤差，所以要求的精度非常高。

再比如光源光刻機(jī)需要體積小，功率高，穩(wěn)定性強(qiáng)的光源為了提供這樣的光源就必須具有質(zhì)量很好的能量控制器，電源要穩(wěn)定，功率要足夠大，否則光源發(fā)生器沒辦法穩(wěn)定工作。